石英材料
S2 高OH合成石英管S2 高OH合成石英管
S2シリーズの合成溶融石英は、独自の環境に優しい溶融プロセスで製造され、非常に高い純度と優れた外観品質を実現しています。高透過率を備えた溶融石英ガラスであり、高エネルギーおよび深紫外用途で優れた性能を発揮します。S2シリーズは気泡や介在物がなく、その超高純度により深紫外から可視帯域にわたって優れた光透過性を実現し、有効波長範囲は180 nm未満から2000 nmに及びます。
アプリケーションシナリオ
| 応用分野 | 具体的なアプリケーションシナリオ | 主な特長 |
|---|---|---|
| 半導体およびマイクロリソグラフィ | リソグラフィ装置用のレンズおよびフォトマスク基板。 | これが最も重要な用途です。193 nm（ArF）および248 nm（KrF）エキシマレーザー波長において、材料には極めて高い透過率、非常に低い吸収、優れた光学均質性、およびレーザー耐損傷性が求められ、チッププロセスの精度と長いレンズ寿命を確保します。 |
| 高エネルギーレーザー及び光学システム | エキシマレーザーおよび高出力レーザー用の光学部品（窓、レンズなど）、ならびにビーム伝送システム内の部品。 | この材料は高エネルギーレーザー放射に耐え、レーザーエネルギーを吸収して発熱や変形を起こさないため、ビーム品質を維持します。 |
| 精密分析および分光分析 | 分光光度計用キュベットおよび光学窓、分光計の主要部品。 | 深紫外から近赤外までの広帯域高透過率により、精密光学分析用の理想的な窓材となります。 |
| 新興技術 | 深紫外光化学マイクロリアクタチップおよび高精度マイクロ流体デバイス。 | 例えば、科学者はその深紫外透過率を利用して三次元マイクロリアクターチップを製作し、ビタミンD3などの薬物の効率的合成を実現し、紫外光下での従来装置の吸収と熱管理の問題を解決しました。 |
| 通信および特殊ファイバ | 高性能・導光・特殊ファイバ用のコアまたはクラッド材料。 | 非常に低い信号損失と安定した光学性能が、光ファイバー通信での使用を支えています。 |
さらに、耐高温性・耐熱衝撃性に優れるため、極めて厳しい安定性が要求される光学部品の基板や特殊部品としてしばしば使用されます。
外観パラメータ
| 脈理 | 機能方向グレード5（ISO 10110-4） |
|---|---|
| 複屈折 / 残留応力¹ | ≤ 5 nm/cm（標準） |
| 気泡 | 気泡グレード（DIN 58927）0 |
| 最大介在物数² | 0 |
| 蛍光³ | なし（254 nmで励起） |
注記
¹ 応力誘起複屈折は、インゴット直径80%または加工部品直径90%に適用されます。
² サイズ80 μm以下の気泡および介在物はカウントされません。10 μmまでの介在物を含まない製品もご要望に応じて提供可能です。
³ 励起源：Hgランプ、λ = 254 nm、UQ 5フィルタ、ランプ出力：8 W、検出方法：肉眼に適合。
光学特性
| 波長 | 透過率 |
|---|---|
| λ = 193.4 nm | > 98.5% |
| λ = 248 nm | > 99.5% |
典型的な化学組成
| 水酸基（OH）含有量 |
|---|
| ~1000-1350 ppm |
| 化学的特性 | 要素 | Al | Ca | Cr | Cu | Fe | K | Li | Mg | Na | Ti | V |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 内容 | <5 | <5 | <1 | <1 | <50 | <10 | <5 | <5 | <10 | <5 | <1 |
(単位：ppm、すなわち μg/g)
技術性能
| その他の特性 | 熱特性 |
|---|---|
| アッベ数: 67.8 | 歪点*：1025 °C |
| 密度: 2.2 g/cm³ | アニーリング点*：1120 °C |
| 硬度: 5.5 ... 6.5 (モース硬度) | 軟化点*：1600 °C |
| 熱膨張係数：0.54 × 10⁻⁶（平均、K⁻¹、0 ... 600 °C） |
* これらの値はガラスの熱履歴により変動する場合があります。
よくある質問
S2 高OH合成石英管とは？
環境に優しい溶融プロセスによる合成石英で、気泡や介在物がなく、深紫外から近赤外まで高い透過率を実現：193.4 nmで98.5%以上、248 nmで99.5%以上（光路長10 mm）。
S2 高水酸基合成石英管が用途に適合するかどうかを確認するにはどうすればよいですか？
使用波長と目標透過率、光路長または肉厚、水酸基グレード、気泡および介在物の許容限度、寸法と公差、使用温度および熱衝撃条件を確認してください。
データシート、サンプル、カスタマイズを依頼できますか？
このページのデータシートをダウンロードし、お客様の適用条件をご提出ください。サンプルおよびカスタマイズの可否は、選択されたモデル、数量、受入要件によって異なります。
