石英材料
Sシリーズ 高透過合成石英Sシリーズ 高透過合成石英
Sシリーズは、約200 ppmの安定した水酸基（OH）含有量を持つ完全合成溶融石英で、高効率UV/VUV（紫外/真空紫外）ランプ用途向けに設計されています。チューブは当社独自の多段階S-ZUGプロセスで製造されています。
主な特長
超高純度
優れた耐放射線（ソラリゼーション）安定性
極めて低い気泡含有量
ほぼ欠陥のない表面
幅広いサイズ展開
主な用途
キセノンエキシマランプ（172 nm）
光学特性
2 mm壁厚での代表的な透過率
| 波長 [nm] | 172 | 200 | 254 | 360 |
|---|---|---|---|---|
| 透過率 [%] (肉厚2 mm) | 88 | 91 | 92 | 93 |
OD
| 外径範囲 [mm] | 公差 [mm] | 肉厚範囲 [mm] |
|---|---|---|
| 7 ≤ OD ≤ 17 | ±0.3 | ≥0.8 ≤3.5 |
| 17 < OD ≤ 25 | ±0.4 | ≥1.0 ≤4.5 |
| 25 < OD ≤ 30 | ±0.5 | ≥1.2 ≤4.5 |
| 30 < OD ≤ 35 | ±0.6 | >1.2 ≤4.5 |
| 35 < OD ≤ 40 | ±0.8 | >1.2 ≤4.5 |
| 40 < OD ≤ 50 | ±1.0 | ≥2.0 ≤4.5 |
| 50 < OD ≤ 60 | ±1.3 | ≥2.0 ≤4.5 |
| 60 < OD ≤ 90 | ±2.0 | —— |
壁厚
| 肉厚WT範囲 [mm] | 公差 [mm] | 最大気泡全長 ² |
|---|---|---|
| ≥0.5 ≤1.2 | ±0.2 | <2.0% |
| >1.2 ≤2.0 | ±0.3 | <2.5% |
| >2.0 ≤2.8 | ±0.4 | <3.0% |
| >2.8 ≤3.7 | ±0.5 | <3.5% |
| >3.7 ≤4.5 | ±0.6 | <4.0% |
形状・長さ公差
| 項目 | スコープ | 公差 | 注記 |
|---|---|---|---|
| 楕円率 | 加工長 | < ½ OD 公差 | — |
| 軸曲がり（エッジスキュー） | 加工長 | < ½ OD 公差 | — |
| ボウ | すべてのサイズ | < 1.0 mm / m | 未アニール |
| ボウ | すべてのサイズ | < 1.5 mm / m | アニール処理 |
| 長さ | — | +20 mm / -0 mm | 切断・破断 |
外観
| 項目 | 要件 |
|---|---|
| 介在物 | None |
| 表面汚染 | None |
| 外面変形 | None |
| 変色・汚れ | None |
注記
¹ その他のサイズおよび公差はお問い合わせください
² 長さ0.5 mm未満かつ幅0.08 mm未満の気泡はカウントされません
³ その他の切断方法もご要望に応じて対応可能
化学的特性
| OH含有量 | Li | Na | K | Mg | Ca | Fe | Cu | Cr | Mn | Al | Ti |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ~200（アニーリングによる変化なし） | 0.01 | 0.05 | 0.1 | 0.005 | 0.05 | 0.02 | 0.01 | 0.005 | 0.005 | 0.05 | 0.05 |
単位: ppm (µg/g)
物理的特性
| パラメータ | 値 |
|---|---|
| 軟化点 | ~1600 ℃ |
| 徐冷点 | ~1120 ℃ |
| 歪点 | ~1025 ℃ |
| 1300 ℃での粘度 | 11.4 dPas |
| 最高使用温度 | 連続：~950 ℃、短時間：~1200 ℃ |
| 密度 | 2.2 g/cm³ |
よくある質問
Sシリーズ高透過合成石英とは何ですか？
安定した約200 ppmのOH含有量を持つ完全合成溶融石英で、高効率UV / VUVランプ向けに設計されています。172 nmで88%の透過率（2 mm）。
Sシリーズ高透過合成石英が弊社の用途に適合するかどうかを確認するにはどうすればよいですか？
使用波長と目標透過率、光路長または肉厚、水酸基グレード、気泡および介在物の許容限度、寸法と公差、使用温度および熱衝撃条件を確認してください。
データシート、サンプル、カスタマイズを依頼できますか？
このページのデータシートをダウンロードし、お客様の適用条件をご提出ください。サンプルおよびカスタマイズの可否は、選択されたモデル、数量、受入要件によって異なります。
