S2 고수산기 합성 석영관S2 고수산기 합성 석영관
S2 시리즈 합성 용융 실리카는 독특하고 친환경적인 용융 공정으로 생산되어 매우 높은 순도와 우수한 시각적 품질을 제공합니다. 높은 투과율을 가진 용융 실리카 유리로, 고에너지 및 심자외선 응용 분야에서 우수한 성능을 발휘합니다. S2 시리즈는 기포와 개재물이 없으며, 초고순도로 인해 심자외선 및 가시광 대역에서 뛰어난 광 투과 특성을 보이고, 유효 파장 범위는 180 nm 미만에서 2000 nm까지 확장됩니다.
응용 시나리오
| 응용 분야 | 특정 응용 시나리오 | 주요 장점 |
|---|---|---|
| 반도체 및 마이크로리소그래피 | 리소그래피 장비의 렌즈 및 포토마스크 기판. | 이것은 가장 중요한 응용 분야입니다. 193 nm(ArF) 및 248 nm(KrF) 엑시머 레이저 파장에서 이 소재는 칩 공정의 정밀도와 렌즈의 긴 수명을 보장하기 위해 매우 높은 투과율, 매우 낮은 흡수, 우수한 광학적 균질성 및 레이저 손상 저항성이 요구됩니다. |
| 고에너지 레이저 및 광학 시스템 | 엑시머 및 고출력 레이저용 광학 부품(윈도우, 렌즈 등)과 빔 전달 시스템 부품. | 이 소재는 고에너지 레이저 방사선을 견디며 레이저 에너지 흡수로 인한 발열이나 변형이 없어 빔 품질을 유지합니다. |
| 정밀 분석 및 분광학 | 분광광도계의 큐벳 및 광학 창, 분광계의 핵심 부품. | 심자외선부터 근적외선까지 넓은 대역의 높은 투과율로 정밀 광학 분석에 이상적인 윈도우 소재입니다. |
| 신흥 기술 | 심자외선 광화학 마이크로반응기 칩 및 고정밀 미세유체 장치. | 예를 들어, 과학자들은 심자외선 투과율을 활용하여 비타민 D3와 같은 의약품을 효율적으로 합성하는 3차원 마이크로반응기 칩을 제작하여 자외선 하에서 기존 장비의 흡수 및 열 관리 문제를 해결했습니다. |
| 통신 및 특수 광섬유 | 고성능 광도파 및 특수 광섬유용 코어 또는 클래딩 소재. | 매우 낮은 신호 손실과 안정적인 광학 성능이 광섬유 통신에서의 사용을 뒷받침합니다. |
또한 내고온성 및 내열충격성이 뛰어나 안정성 요구가 매우 엄격한 광학 부품의 기판이나 특수 부품으로 자주 사용됩니다.
외관 파라미터
| 줄무늬 | 기능 방향 등급 5 (ISO 10110-4) |
|---|---|
| 복굴절 / 잔류 응력¹ | ≤ 5 nm/cm (일반적) |
| 기포 | 기포 등급(DIN 58927) 0 |
| 최대 개재물 수² | 0 |
| 형광³ | 없음 (254 nm에서 여기됨) |
비고
¹ 응력 유도 복굴절은 잉곳 직경 80% 또는 가공 부품 직경 90%에 적용됩니다.
² 크기 80 μm 이하의 기포 및 개재물은 계산하지 않습니다. 10 μm까지 개재물이 없는 제품은 요청 시 제공 가능합니다.
³ 여기 광원: Hg 램프, λ = 254 nm, UQ 5 필터; 램프 전력: 8 W; 검출 방식: 육안 적응.
광학 특성
| 파장 | 투과율 |
|---|---|
| λ = 193.4 nm | > 98.5% |
| λ = 248 nm | > 99.5% |
일반적인 화학 조성
| 하이드록실(OH) 함량 |
|---|
| ~1000-1350 ppm |
| 화학적 특성 | 요소 | Al | Ca | Cr | Cu | Fe | K | Li | Mg | Na | Ti | V |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 함량 | <5 | <5 | <1 | <1 | <50 | <10 | <5 | <5 | <10 | <5 | <1 |
(단위: ppm, 즉 μg/g)
기술 성능
| 기타 특성 | 열적 특성 |
|---|---|
| 아베 수: 67.8 | 변형점*: 1025 °C |
| 밀도: 2.2 g/cm³ | 어닐링점*: 1120 °C |
| 경도: 5.5 ... 6.5 (모스) | 연화점*: 1600 °C |
| 열팽창 계수: 0.54 × 10⁻⁶ (평균, K⁻¹, 0 ... 600 °C) |
* 이 값은 유리의 열 이력에 따라 달라질 수 있습니다.
자주 묻는 질문
S2 고-OH 합성 석영 튜브란 무엇입니까?
친환경 용융 공정으로 생산된 합성 석영으로, 기포와 개재물이 없고 심자외선에서 근적외선까지 높은 투과율을 제공합니다: 193.4 nm에서 >98.5%, 248 nm에서 >99.5% (10 mm 경로).
S2 고수산기 합성 석영관이 제 응용 분야에 적합한지 어떻게 확인할 수 있나요?
작동 파장 및 목표 투과율, 광로 또는 벽 두께, OH 등급, 기포 및 개재물 한계, 치수 및 공차, 작동 온도 및 열충격 조건을 확인하십시오.
데이터시트, 샘플 또는 맞춤 제작을 요청할 수 있나요?
이 페이지에서 데이터시트를 다운로드하고 신청 조건을 제출하십시오. 샘플 및 맞춤 제작 가능 여부는 선택한 모델, 수량 및 허용 요구 사항에 따라 달라집니다.
