超快激光正在把透明材料连接从“表面必须近乎光学贴合”推进到“存在微米级界面间隙也可能形成接头”。但近期论文同时说明,这还不是可以忽略材料组合、强度、面积和泄漏率差异的通用工艺:陶瓷、钛箔、硅与熔融石英已有多组公开实验结果,量产前仍要把界面条件、测试口径和长期可靠性放进同一份验证计划。

熔融石英的光学与化学优势很明确,难点在连接。胶粘会引入有机物和热老化,传统熔封又可能把过高热量带到器件附近;超快激光则依靠透明材料内部或多材料界面的非线性吸收、热积累和微区熔化,把能量限制在很小的作用区。早先的高强度玻璃焊接通常以光学接触为前提,近年研究方向开始转向更大的界面间隙和更难的异种材料组合。
先看结论
- 进展是真实的:2026 年公开论文已报道粗糙度 4.82 μm 的氧化铝陶瓷与熔融石英在大于 10 μm 间隙下焊接,强度 13.75 MPa;纯钛箔与熔融石英在无中间层条件下得到最高 9.19 MPa 的剪切强度。[1][2]
- 但不能把它写成“透明材料都能焊”:2025 年综述指出,透明材料—金属异质焊在非光学接触条件下的强度通常仍低于 20 MPa,可达焊接面积也偏小,工艺稳定性与实时监测仍是瓶颈。[3]
- 密封照片不能代替泄漏率:钛箔研究的水浸 24 小时属于定性可行性试验,作者明确提出后续需要氦检等定量表征。采购文件不能把“无肉眼进水”写成气密封装合格。[2]
- 真正可转移的工程结论是验证顺序:先锁定间隙与表面状态,再标定激光参数,最后分别验收机械强度、泄漏、光学损耗、热循环和批次一致性。
工程判断:当前证据支持“先做应用级样品验证”,不支持“按材料名称直接套用参数”。同一对材料改变粗糙度、间隙或热历史,接头形成机制与失效位置都会变化。
“非光学接触”改变了什么
在超快激光焊接文献中,光学接触通常指两表面间隙小于激光波长四分之一量级;非光学接触则是界面存在更大的空气间隙或明显粗糙度。前者更容易形成稳定的界面等离子体和连续熔区,后者要跨越间隙传递能量、填充空间,并承受更复杂的热应力。[3]
| 界面状态 | 已有证据 | 工程含义 | 不能直接外推 |
|---|---|---|---|
| 光学接触的同类透明材料 | 综述汇总的强度可高于块体材料断裂强度 200 MPa | 参数与界面稳定时,具备高强度基础 | 不代表异种材料或带间隙结构同样可达到 |
| 光学接触的透明材料—金属 | 综述引用的最高报道约 108 MPa | 材料匹配与界面约束至关重要 | 不能忽略具体材料、粗糙度和测试方法 |
| 非光学接触透明材料—金属 | 多数报道低于 20 MPa,焊接面积约在 10 mm × 10 mm 尺度 | 仍有强度、面积和稳定性挑战 | 不能用单个峰值强度证明量产能力 |
来源事实:上述数值来自 2025 年综述对既往研究的归纳,并非一个统一标准门槛。工程判断:若客户图纸关注“整个密封框连续、无裂纹”,平均强度或单点峰值都不足以代表合格;必须按实际焊缝轨迹做分布测试。
从 2024 到 2026:四组关键证据
陶瓷—熔融石英:粗糙表面与 10 μm 以上间隙
2026 年《Optics Letters》论文将表面粗糙度 4.82 μm 的氧化铝陶瓷与抛光熔融石英焊接。论文摘要记录界面间隙大于 10 μm,使用 238 fs、1030 nm、1 MHz、23.8 μJ、40 mm/s 的条件得到 13.75 MPa 焊接强度。高速成像观察到透明材料内部等离子体与界面等离子体共存,作者将局部熔化、界面扩散和机械互锁归为接头形成机制。[1]
这组结果的重要性不在单个参数,而在它证明“非光学接触并非必然不能焊”。但出版社正式摘要与作者补充材料的脉宽存在 200 fs/238 fs 的版本差异,间隙大于 10 μm 也只见于扩展摘要;复现时应同时保存最终论文、补充材料和设备日志。陶瓷粗糙度方向、污染物和间隙分布也未在摘要中形成可复现的公差体系。
双脉冲石英—石英:57.15 MPa 说明工艺窗口仍有很大空间
2024 年《Photonics》论文用双脉冲飞秒激光焊接非光学接触石英玻璃,在 3,500 mW、615 kHz、66.7 ps 脉冲延迟、10 μm 扫描间隔和 1,000 μm/s 扫描速度下报告 57.15 MPa 焊接强度。研究通过五因素多水平试验优化平均功率、脉冲延迟、扫描间隔、扫描速度与重复频率。[8]
这个数值远高于 2025 年综述对多数非光学接触透明/金属异质焊的统计,但它属于石英—石英同材体系与一组优化参数。它说明“低于 20 MPa”不能当作物理上限,也不能反过来证明异种材料同样可以达到 57 MPa。
钛箔—熔融石英:微焦级能量与无中间层
另一项 2026 年研究在环境条件下用约 300 fs、1030 nm、100 kHz 的激光直接连接纯钛箔与熔融石英,没有中间层或表面预处理。最优条件为 2.0 W、20 μJ、0.3 mm/s 和零离焦,最高剪切强度为 9.19 MPa;XPS 检出 TiSi₂ 与 TiO₂,EDS 显示约 13 μm 厚的元素互扩散区。[2]
论文同时给出了 5 mm × 5 mm 方形密封腔的 24 小时水浸结果:没有观察到进水。这个结果只说明样件在特定试验中具备密封潜力,作者也明确指出下一步需要定量氦泄漏率。对于真空窗口、植入器件或长期户外设备,水浸通过不等于低泄漏率、耐压或多年寿命。
玻璃—硅与全石英光纤:从材料试验走向结构应用
2026 年玻璃—硅界面研究报道,通过皮秒激光参数优化获得 26.6 ± 1.2 MPa 剪切强度,并在硅侧观察到约 85 nm 的 Si/O 改性层。作者把元素重分布与等离子体、电场辅助氧迁移和硅反应性联系起来,目标应用包括玻璃—硅异质集成和微器件制造。[4]
相比之下,2022 年全石英光纤键合走的是另一条工艺路线:用 CO₂ 激光局部烧结亚微米石英粉,把光纤刚性连接到玻璃基板;摘要报告没有引入额外光纤传输损耗,组件加热到 1100℃ 仍未出现退化或结构变化。[5]
器件端证据还来自两类应用。2019 年的陶瓷焊接研究已经证明焊缝可保持高真空,剪切强度可与金属—陶瓷扩散键合比较;同年一项植入式压力传感器把两片石英晶圆封装起来,形成约 100 μm 宽的连续焊缝,并报告初步无漏气和细胞毒性测试结果。[7][6]这些结果把“激光能熔化材料”推进到器件封装,但仍不能代替指定泄漏率、机械循环和长期体内/现场可靠性。
| 研究 | 材料与界面 | 报告结果 | 适用边界 |
|---|---|---|---|
| Li 等,2026 | 粗糙氧化铝陶瓷—熔融石英;间隙 >10 μm | 13.75 MPa;238 fs、1 MHz、23.8 μJ、40 mm/s | 单一材料组合与实验参数,不等于通用陶瓷—玻璃工艺 |
| Tang 等,2026 | 纯钛箔—熔融石英;无中间层 | 最高剪切强度 9.19 MPa;24 h 水浸无进水 | 定性密封试验,缺少定量泄漏率与长期可靠性 |
| 2026 玻璃—硅研究 | 石英玻璃—晶体硅 | 26.6 ± 1.2 MPa;约 85 nm 改性层 | 不同激光体系、界面化学和测试几何,不能与上两行直接排名 |
| Maniewski 等,2022 | 石英光纤—玻璃基板;亚微米石英粉 | 报告无额外传输损耗;1100℃ 未见退化 | 针对全石英光纤组件,不证明其他封装结构同样耐温 |
| 2024 双脉冲研究 | 石英玻璃—石英玻璃;非光学接触 | 最高 57.15 MPa;3.5 W、615 kHz、66.7 ps | 同材体系;不能与陶瓷或金属接头直接排名 |
为什么等离子体并不等于可靠接头
超快激光通过多光子吸收、隧穿电离与雪崩电离在透明介质中建立局部高能量密度区。高重复频率下,相邻脉冲间隔短于热扩散时间,热量逐步累积,使界面局部熔化。材料吸收差异、等离子体屏蔽、熔体黏度和凝固收缩又会共同改变最终焊缝。[3]
这正是“同一台激光器换一种材料就失效”的原因:金属侧自由电子吸收强,透明介质依赖非线性吸收;两侧热导率、熔点与热膨胀系数不同,会形成不对称熔池。对熔融石英与金属,热膨胀系数差可在冷却阶段产生拉伸或压应力,诱发裂纹与脱粘。[3]
工程判断:焊接窗口至少要同时记录功率、单脉冲能量、脉宽、重复频率、扫描速度、离焦量、扫描次数、焦点位置、界面间隙和辅助气体。只报“平均功率”无法复现实验,也无法建立跨设备工艺转移。
强度和密封必须分开验收
陶瓷、钛箔与玻璃—硅研究使用了不同强度测试:有的报告拉伸或焊接强度,有的报告剪切强度。测试几何、试样尺寸、胶层、加载速率和断裂位置都会改变结果。因此,不同论文的 MPa 数值应被看作各自条件下的证据,而不是可直接排序的产品规格。
| 验收维度 | 建议写入询价/试验单 | 常见误判 |
|---|---|---|
| 机械强度 | 拉伸/剪切/三点弯曲方式、试样数量、断裂位置、均值与离散度 | 只看一个最高值 |
| 气密性 | 氦泄漏率、试验腔体体积、压差、温度与保持时间 | 用短时水浸代替定量泄漏率 |
| 光学性能 | 目标波段插入损耗、散射、波前或反射变化 | 只写“透明”或“无肉眼缺陷” |
| 热可靠性 | 温度范围、升降温速率、循环次数、热失配与残余应力 | 把单一最高耐温点当作热循环能力 |
| 工艺可复现 | 粗糙度、平面度、间隙分布、清洗方式、设备与完整激光参数 | 只抄功率和扫描速度 |
TopRays 建议:熔融石英窗口、基片和光纤组件的报价不应只给材料牌号与尺寸。若客户拟采用激光焊接,应在图纸阶段同时确认焊接区表面粗糙度、边缘崩边、平面度、退火状态、允许热影响区、金属配对材料及后续泄漏率目标。
熔融石英的供应链含义
激光焊接把材料问题从“透过率是否达标”扩展到“界面能否被稳定加工”。对上游材料与元件供应,至少有三类数据值得提前建立:
- 界面基线:焊接区粗糙度、平面度、崩边、清洁度和批次一致性,而不是只测光学面。
- 热历史:材料羟基、退火状态、内应力与热膨胀数据,用于解释焊接后的裂纹和双折射风险。
- 应用验证:按窗口、光纤组件或封装壳体分别定义强度、泄漏、光学损耗和热循环,不把一个平台的实验结果复制到另一个平台。
新闻价值也在这里:近期的材料研究已经把连接问题从“能不能焊”推进到“在多大间隙、什么表面、何种测试口径下验证焊接”。下一阶段的竞争不会只看一篇论文的峰值 MPa,而会看谁能把材料、激光设备和可靠性测试连成可追溯的工艺窗口。
编辑判断
把 13.75 MPa、9.19 MPa 或 26.6 MPa 单独写成“熔融石英已经可以量产焊接”会越过证据边界。更准确的结论是:非光学接触与异种材料焊接已经形成多条可验证路线,但强度、焊接面积、定量密封和长期可靠性仍需要按应用分别完成。
对 TopRays 而言,现实机会在于提供可焊接性的材料与组件基线,并帮助客户把论文级参数转换成设备、材料批次和验收规范。这个工作比追逐一个最高强度数字更接近采购决策,也更容易形成长期可复用数据。
REFERENCES
- Femtosecond laser welding of non-optical-contact ceramic and fused silica — Optics Letters 51(3), 532(peer_reviewed,2026-01-20)
- Direct μJ-Level Femtosecond Laser Welding of Fused Silica to Titanium Foil Without Interlayer — Photonics 13(5), 437(peer_reviewed / CC BY,2026-04-29)
- Ultrafast laser welding of transparent materials: from principles to applications — International Journal of Extreme Manufacturing 7, 032001(peer_reviewed / CC BY,2025)
- Characterization of the glass–silicon interface produced by ultrafast laser welding — Journal of Asian Ceramic Societies(peer_reviewed,2026-09-28)
- All-silica optical fiber bonding — Optics Express 30(11), 19805(peer_reviewed,2022)
- Characteristics of an Implantable Blood Pressure Sensor Packaged by Ultrafast Laser Microwelding — Sensors 19(8), 1801(peer_reviewed / CC BY,2019)
- Ultrafast laser welding of ceramics — Science 365(6455), 803–808(peer_reviewed,2019)
- High-Strength Welding of Silica Glass Using Double-Pulse Femtosecond Laser under Non-optical Contact Conditions — Photonics 11(10), 945(peer_reviewed / CC BY,2024)
本文中的强度、间隙、激光参数与耐温结果均属于对应论文的特定材料、设备和测试条件,不是 TopRays 产品保证值。24 小时水浸是定性试验,不能替代定量泄漏率、压力循环或长期可靠性验证。外部论文只作 reference_only;AI 概念图不表示真实焊缝、截面、光谱或测试结果。

